Menşe yeri:
Çin
Marka adı:
KACISE
Sertifika:
CE
Model numarası:
KGD-MQ-537
Özellik | Değer |
---|---|
Algılama Prensibi | NDIR |
Algılanan Gazlar | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Ölçüm Aralığı | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
Tekrarlanabilirlik | ±0.5% |
Doğrusallık | ±1%F.S. |
Algılama Sınırı | 1ppm |
KGD - MQ - 537 Kızılötesi Gaz Sensörü, Dağılmayan Kızılötesi (NDIR) teknolojisine dayanmaktadır. Yarı iletken uygulamalarında üretilen SiF4, CF4, SF6, NF3 ve CO2 gibi gazları doğru bir şekilde ölçebilir. Ekipman içindeki yaygın önceden ayarlanmış boyutlar, flanşlar ve iletişim protokolleri ile uyumludur. Yarı iletken biriktirme ve temizleme işlemlerinde son nokta tespiti için ve ayrıca oda temizliği için terminal tespiti için kullanılabilir, temizleme süresini azaltmaya, maliyetleri düşürmeye ve üretimi artırmaya yardımcı olur.
Parametre | Detaylar |
---|---|
Algılama Prensibi | NDIR |
Algılanan Gazlar | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Ölçüm Aralığı | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
Tekrarlanabilirlik | ±0.5% |
Doğrusallık | ±1%F.S. |
Algılama Sınırı | 1ppm |
Sorgularınızı doğrudan bize gönderin.